Rectification of extreme ultraviolet lithography patterns by directed self-assembly: a roughness and defectivity study - 科研通

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标题	Rectification of extreme ultraviolet lithography patterns by directed self-assembly: a roughness and defectivity study
网址	https://doi.org/10.1117/1.jmm.23.4.043001
DOI	10.1117/1.jmm.23.4.043001 doi
其它	期刊：Journal of micro/nanopatterning, materials, and metrology 作者：Julie Van Bel; Lander Verstraete; Hyo Seon Suh; Philippe Bézard; Alain Moussa; et al 出版日期：2024-10-18
求助人	孤独蛋挞在 2026-09-12 16:39:04 发布自江苏，悬赏 20 积分
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