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标题
Fluorocarbon (C4F8) assisted plasma-enhanced atomic layer etching of SiO2 with high repeatability of cycles in industrial ICP reactor. II. Simulation
网址
http://dx.doi.org/10.1116/6.0005124
DOI
10.1116/6.0005124 doi
其它 期刊：Journal of Vacuum Science & Technology A
作者：Olga Proshina; Andrey Kropotkin; Dmitry Voloshin; Tatyana Rakhimova; Alexander Rakhimov
出版日期：2026-02-25
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hustliuxiao 在 2026-07-09 12:59:08 发布自湖北，悬赏 10 积分
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