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标题
Non-ionic photo-acid generators for next-generation EUV photoresists
网址
https://doi.org/10.1117/12.3050818
DOI
10.1117/12.3050818 doi
其它 期刊：
作者：Madan R. Biradar; Kyung Hee Oh; Chaolei Ban; Jae Hyun Kim; Rachel L. Snyder; et al
出版日期：2025-04-22
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