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 FEATURES OF PLASMA COMPOSITION AND FLUORINE ATOM KINETICS IN CHF3 + O2 GAS MIXTURE CHF3+O2混合气体中等离子体成分和氟原子动力学特征
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期刊：IZVESTIYA VYSSHIKH UCHEBNYKH ZAVEDENIY KHIMIYA KHIMICHESKAYA TEKHNOLOGIYA 作者：Alexander Efremov; Daria E. Bashmakova; Kwang‐Ho Kwon 出版日期：2022-11-30 |
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