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标题
Fault Detection and Diagnosis Using Self-Attentive Convolutional Neural Networks for Variable-Length Sensor Data in Semiconductor Manufacturing
半导体制造中可变长度传感器数据的自注意卷积神经网络故障检测与诊断
相关领域
稳健性（进化） 卷积神经网络 半导体器件制造 特征提取 故障检测与隔离 人工智能 薄脆饼 深度学习 计算机科学 数据建模 模式识别（心理学） 人工神经网络 工程类 电子工程 数据挖掘 电气工程 执行机构 化学 基因 数据库 生物化学
网址
https://doi.org/10.1190/geo2020-0945.1
DOI
10.1190/geo2020-0945.1 doi
提醒：求助人提供的doi与AI识别不一致 10.1109/tsm.2019.2917521 Doi
其它 期刊：IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing
作者：Eunji Kim; Sungzoon Cho; Byeong-Eon Lee; Myoungsu Cho
出版日期：2019-05-17
求助人
gaigai 在 2025-12-03 16:38:40 发布自中国，悬赏 30 积分
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