Multi-step process optimization on high aspect ratio etching for memory devices

已完结

文献求助详情

标题	Multi-step process optimization on high aspect ratio etching for memory devices 存储器件高纵横比刻蚀的多步工艺优化相关领域蚀刻（微加工）溅射灵敏度（控制系统）材料科学过程（计算）蒙特卡罗方法各向同性腐蚀计算机科学功率（物理）热的沉积（地质）电子工程纳米技术工程类薄膜物理数学操作系统统计古生物学气象学生物量子力学沉积物图层（电子）
网址	https://doi.org/10.1117/12.3009747
DOI	10.1117/12.3009747 doi
其它	期刊：作者：Kazunori Zaima; Hirotaka Tsuda; Yuta Manabe; Mitsuhiro Omura 出版日期：2024-04-09
求助人	墨川在 2025-12-30 20:42:27 发布自陕西，悬赏 20 积分
下载	该求助完结已超 24 小时，文件已从服务器自动删除，无法下载。
	温馨提示：该文献已被科研通学术中心收录，前往查看科研通『学术中心』是文献索引库，收集文献的基本信息（如标题、摘要、期刊、作者、被引量等），不提供下载功能。如需下载文献全文，请通过文献求助获取。

上个求助

下个求助

提交工单

该求助已完结，感谢关注

如需该文献，请重新发布求助，前往发布

站在巨人的肩膀上，才更有可能跳的更远

请遵守相关知识产权规定，勿将文件分享给他人，仅可用于个人研究学习

我的文献求助列表浏览历史

一分钟了解求助规则 | 捐赠本站 | 历史今天

更新

📰 新增『新锐期刊分区』 (2026-3-24)

更新

💬 新增更精细的自定义提醒设置 (2026-1-4)

新增

🕒 每天60秒读懂世界·精选全球要闻 (2026-1-2)

新增

PDF的下载单位、IP信息已删除 (2025-6-4)

科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。

实时播报: 984295567完成签到，获得积分10

1秒前; 燕然都护完成签到，获得积分10

2秒前; loen完成签到，获得积分10

3秒前; dada完成签到，获得积分10

11秒前; 辰辰完成签到，获得积分10

13秒前; uuu完成签到，获得积分10

16秒前; 英姑上传了应助文件

19秒前; 李华发布了新的文献求助10

22秒前; xiaolizi完成签到，获得积分0

25秒前; luqong完成签到，获得积分10

26秒前; 晨晨完成签到，获得积分10

37秒前; cdercder完成签到，获得积分0

38秒前; 思源的应助被Son4904采纳，获得10

47秒前; 左丘映易完成签到，获得积分0

51秒前; 思源上传了应助文件

55秒前; 艳艳宝完成签到，获得积分10

57秒前; Son4904发布了新的文献求助10

1分钟前; zhuosht完成签到，获得积分10

1分钟前; 一天完成签到，获得积分10

1分钟前; tszjw168完成签到，获得积分0

1分钟前; 小蘑菇的应助被科研通管家采纳，获得10

1分钟前; 星辰大海的应助被科研通管家采纳，获得10

1分钟前; 烟花的应助被科研通管家采纳，获得10

1分钟前; 科研通AI6.3的应助被科研通管家采纳，获得10

1分钟前; limm发布了新的文献求助10

1分钟前; FUNG完成签到，获得积分0

1分钟前; Leo完成签到，获得积分10

1分钟前; 谢玉婷完成签到，获得积分0

1分钟前; 淘宝叮咚完成签到，获得积分10

1分钟前; 阳光的凡阳完成签到，获得积分10

1分钟前; lili完成签到，获得积分10

1分钟前; yowgo完成签到，获得积分10

1分钟前; 一抹阳光完成签到，获得积分10

1分钟前; zhang完成签到，获得积分10

2分钟前; meimei完成签到，获得积分10

2分钟前; 暮晓见完成签到，获得积分10

2分钟前; 玩命做研究完成签到，获得积分10

2分钟前; XIAOJU_U完成签到，获得积分10

2分钟前; 打打上传了应助文件

2分钟前; 老张完成签到，获得积分10

2分钟前