Mixed-Substituted Single-Source Precursors for Si1–xGex Thin Film Deposition

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标题	Mixed-Substituted Single-Source Precursors for Si1–xGex Thin Film Deposition 相关领域化学异核分子化学气相沉积结晶不稳定性薄膜沉积（地质）分子群（周期表）结晶学化学工程纳米技术有机化学材料科学工程类古生物学生物沉积物
网址	https://doi.org/10.1021/acs.inorgchem.2c02835
DOI	10.1021/acs.inorgchem.2c02835 doi
其它	期刊：Inorganic Chemistry 作者：Benedikt Köstler; Felix Jungwirth; Luisa Achenbach; Masiar Sistani; Michael Bolte; et al 出版日期：2022-10-19
求助人	KAKA 在 2026-01-09 02:41:00 发布自河北，悬赏 10 积分
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