Development of a double-diffraction grating interferometer for measurements of displacement and angle

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标题	Development of a double-diffraction grating interferometer for measurements of displacement and angle
网址	https://doi.org/10.1117/12.2558045
DOI	10.1117/12.2558045 doi
其它	期刊：Optics and Photonics for Advanced Dimensional Metrology 作者：Shao-Heng Chen; Hung-Lin Hsieh; Hong-Yi Chen; Yi-Xing Lai; Peter J. de Groot; et al 出版日期：2020
求助人	zz 在 2026-02-26 02:41:00 发布自内蒙古，悬赏 40 积分
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