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 Insights into the Properties of IGZO Films and Thin-Film Transistors Fabricated by Radio Frequency and High-Power Impulse Magnetron Sputtering 射频和高功率脉冲磁控溅射制备IGZO薄膜和薄膜晶体管的性能
相关领域
高功率脉冲磁控溅射
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期刊：Physica Scripta 作者：Chen Wang; Rongjun Cao; Wei Zhu; Wen‐Jie Chen; Yu‐Li Su; et al 出版日期：2025-05-20 |
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