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 Electrical properties of high-κ gate dielectrics: Challenges, current issues, and possible solutions 高κ栅极电介质的电学特性：挑战、当前问题和可能的解决方案
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材料科学
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栅极电介质
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半导体
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期刊：Materials Science and Engineering R Reports 作者：Michel Houssa; L. Pantisano; L.-Å. Ragnarsson; R. Degraeve; T. Schram; et al 出版日期：2006-04-01 |
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