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标题
Unlocking the Potential of Hafnia Ferroelectrics: Achieving High Reliability via Plasma Frequency Modulation in Very High-Frequency Plasma-Enhanced Atomic Layer Deposition
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网址
https://doi.org/10.1021/acsaelm.4c00630
DOI
10.1021/acsaelm.4c00630 doi
其它 期刊：ACS Applied Electronic Materials
作者：Ketong Yang; Minhyun Jung; Taeseung Jung; Jae Seok Yoon; Junghyeon Hwang; et al
出版日期：2024-06-24
求助人
lilijiang 在 2026-01-06 17:26:14 发布自海南，悬赏 10 积分
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