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  Controlling the Dissolution Behavior of (Meth)acrylate-Based Photoresist Polymers in Tetramethylammonium Hydroxide by Introducing Adamantyl Groups 相关领域
丙烯酸酯
溶解度
甲基丙烯酸酯
聚合物
单体
光刻胶
丙烯酸酯聚合物
高分子化学
材料科学
溶解
四甲基氢氧化铵
化学工程
有机化学
化学
工程类
图层（电子）
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| 其它 |
期刊：Materials 作者：Jin‐Young Kim; Choong-Jae Lee; Dong‐Gun Lee; Geon-Ho Lee; Jeong Hyeon; et al 出版日期：2025-01-15 |
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