Polarity control and crystalline quality improvement of AlN thin films grown on Si(111) substrates by molecular beam epitaxy

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标题	Polarity control and crystalline quality improvement of AlN thin films grown on Si(111) substrates by molecular beam epitaxy 相关领域分子束外延材料科学外延极性（国际关系）光电子学薄膜质量（理念）纳米技术化学图层（电子）物理生物化学量子力学细胞
网址	https://pubs.aip.org/aip/jap/article-pdf/doi/10.1063/5.02191...
DOI	10.1063/5.0219167 doi
其它	期刊：Journal of Applied Physics 作者：Shizhao Fan; Yuhao Yin; Rong Liu; Haiyang Zhao; Zhenghui Liu; et al 出版日期：2024-10-09
求助人	akun 在 2026-01-19 14:44:09 发布自江苏，悬赏 10 积分
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