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The impact of plasma enhancement on the deposition of carbon‐containing zirconia films by metalorganic chemical vapor deposition
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网址
https://doi.org/10.1002/ppap.202300050
AI链接 wiley.comdoi.org
DOI
10.1002/ppap.202300050 doi
其它 期刊：Plasma Processes and Polymers
作者：Philipp A. Maaß; Vitali Bedarev; Laura Chauvet; Marina Prenzel; Jean‐Pierre Glauber; et al
出版日期：2023-06-15
求助人
小二郎 在 2026-01-12 21:01:59 发布自山东，悬赏 10 积分
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  • 9小时前

    小二郎 小二郎 Lv11 求助人 发起了本次求助

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