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标题
High capacitance density highly reliable textured deep trench SiN capacitors toward 3D integration
面向3D集成的高电容密度高可靠纹理化深沟槽SiN电容器
相关领域
电容器 电容 材料科学 沟槽 电介质 光电子学 薄脆饼 制作 电流密度 电压 电气工程 复合材料 电极 化学 工程类 图层（电子） 物理化学 病理 物理 替代医学 医学 量子力学
网址
http://dx.doi.org/10.35848/1347-4065/abec5f
DOI
10.35848/1347-4065/abec5f doi
求助人
传统的白桃 在 2025-09-09 16:56:35 发布自湖北，悬赏 10 积分
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