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标题
Effect of N2 anneal on thin HfO2 layers studied by conductive atomic force microscopy
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网址
https://doi.org/10.1016/j.mee.2003.12.032
DOI
10.1016/j.mee.2003.12.032 doi
其它 期刊：Microelectronic Engineering
作者：J. Pétry; Wilfried Vandervorst; Xavier Blasco
出版日期：2004-01-16
求助人
玛卡巴卡 在 2025-10-29 16:24:19 发布自北京，悬赏 10 积分
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