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 Three-Axis Capacitive Sensor Arrays for Local and Global Shear Force Detection 用于局部和全局剪切力检测的三轴电容传感器阵列
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期刊：Journal of microelectromechanical systems 作者：Jayer Fernandes; Jiangang Chen; Hongrui Jiang 出版日期：2021-10-01 |
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