Self-sustaining step-flow growth: Preset nano-terraces as diffusion rails for Si-doped AlN by low-temperature MOCVD

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标题	Self-sustaining step-flow growth: Preset nano-terraces as diffusion rails for Si-doped AlN by low-temperature MOCVD 自持阶梯流生长：低温MOCVD预置纳米台阶作为掺硅AlN扩散轨相关领域金属有机气相外延兴奋剂材料科学扩散纳米- 光电子学宽禁带半导体流量（数学）化学气相沉积纳米技术复合材料外延图层（电子）几何学物理数学热力学
网址	https://doi.org/10.1063/5.0271592
DOI	10.1063/5.0271592 doi
其它	期刊：Applied Physics Letters 作者：Huangshu Zhang; Jiacheng Zhong; Jiahao Chen; Jiamin Chen; Zeren Wang; et al 出版日期：2025-04-28
求助人	琪琪在 2025-07-23 22:29:15 发布自河南，悬赏 10 积分
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