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 Self-sustaining step-flow growth: Preset nano-terraces as diffusion rails for Si-doped AlN by low-temperature MOCVD 自持阶梯流生长：低温MOCVD预置纳米台阶作为掺硅AlN扩散轨
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期刊：Applied Physics Letters 作者：Huangshu Zhang; Jiacheng Zhong; Jiahao Chen; Jiamin Chen; Zeren Wang; et al 出版日期：2025-04-28 |
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