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Laser etching of aluminum thin film on polyimide: Simulation and experimental studies 聚酰亚胺上铝薄膜的激光刻蚀模拟与实验研究
相关领域
材料科学
聚酰亚胺
蚀刻(微加工)
激光器
铝
薄膜
基质(水族馆)
反应离子刻蚀
干法蚀刻
复合材料
光电子学
各向同性腐蚀
光学
纳米技术
图层(电子)
物理
海洋学
地质学
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期刊:Surface and Coatings Technology 作者:Xiaoli Liu; Yuqing Xiong; Rui Wang; Jianping Yang; Gan Wu; et al 出版日期:2015-07-21 |
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