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Laser etching of aluminum thin film on polyimide: Simulation and experimental studies

材料科学 聚酰亚胺 蚀刻(微加工) 激光器 薄膜 基质(水族馆) 反应离子刻蚀 干法蚀刻 复合材料 光电子学 各向同性腐蚀 光学 纳米技术 图层(电子) 物理 地质学 海洋学
作者
Xiaoli Liu,Yuqing Xiong,Rui Wang,Jianping Yang,Gan Wu,Ni Ren
出处
期刊:Surface & Coatings Technology [Elsevier BV]
卷期号:277: 107-116 被引量:15
标识
DOI:10.1016/j.surfcoat.2015.07.023
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