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Laser etching of aluminum thin film on polyimide: Simulation and experimental studies

材料科学聚酰亚胺蚀刻（微加工）激光器铝薄膜基质（水族馆）反应离子刻蚀干法蚀刻复合材料光电子学各向同性腐蚀光学纳米技术图层（电子）物理海洋学地质学

作者

Xiaoli Liu,Yuqing Xiong,Rui Wang,Jianping Yang,Gan Wu,Ni Ren

出处

期刊：Surface & Coatings Technology [Elsevier BV]
日期：2015-07-21 卷期号：277: 107-116 被引量：15

标识

DOI：10.1016/j.surfcoat.2015.07.023

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