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Ultra‐Fast Fabrication of <110>‐Oriented β‐SiC Wafers by Halide CVD
卤化物CVD超快速制备<110>取向β-SiC晶片
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网址
https://doi.org/10.1111/jace.13980
DOI
10.1111/jace.13980 doi
其它 期刊：Journal of the American Ceramic Society
作者：Rong Tu; Dingheng Zheng; Qingyun Sun; Mingxu Han; Song Zhang; et al
出版日期：2015-10-08
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梁昕 在 2025-08-03 13:06:38 发布自湖北，悬赏 10 积分
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