Ultra‐Fast Fabrication of <110>‐Oriented β‐SiC Wafers by Halide CVD

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标题	Ultra‐Fast Fabrication of <110>‐Oriented β‐SiC Wafers by Halide CVD 卤化物CVD超快速制备<110>取向β-SiC晶片相关领域化学气相沉积卤化物薄脆饼沉积（地质）甲烷化学微观结构制作总压力材料科学纳米技术分析化学（期刊）结晶学无机化学有机化学生物物理沉积物病理古生物学医学量子力学替代医学
网址	https://doi.org/10.1111/jace.13980
DOI	10.1111/jace.13980 doi
其它	期刊：Journal of the American Ceramic Society 作者：Rong Tu; Dingheng Zheng; Qingyun Sun; Mingxu Han; Song Zhang; et al 出版日期：2015-10-08
求助人	梁昕在 2025-08-03 13:06:38 发布自湖北，悬赏 10 积分
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