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 Bubble detection in photoresist with small samples based on GAN augmentations and modified YOLO 基于GAN增强和改进YOLO的小样品光刻胶气泡检测
相关领域
光刻胶
薄脆饼
计算机科学
气泡
人工智能
材料科学
光电子学
纳米技术
并行计算
图层（电子）
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期刊：Engineering Applications of Artificial Intelligence 作者：Guang Yang; Chunhe Song; Zhijia Yang; Shuping Cui 出版日期：2023-04-12 |
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