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 Non-destructive investigation for metal structure in 3D flash memory by an ultra-high resolution x-ray microscope 超高分辨率X射线显微镜对3D闪存金属结构进行无损研究
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期刊：Metrology, Inspection, and Process Control XXXVIII 作者：Kazuhiko Omote; Raita Hirose; Hiroshi Tsukada; Akira Hamaguchi; Yasuhiro Yoshitake; Kiminori Yoshino 出版日期：2024-04-10 |
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