Non-destructive investigation for metal structure in 3D flash memory by an ultra-high resolution x-ray microscope

显微镜 闪存 材料科学 闪光灯(摄影) 显微镜 分辨率(逻辑) X射线 计算机科学 光学 人工智能 计算机硬件 物理
作者
Kazuhiko Omote,Raita Hirose,Hiroshi Tsukada,Akira Hamaguchi,Yasuhiro Yoshitake,Kiminori Yoshino
标识
DOI:10.1117/12.3010113
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