Effects of a low-pressure water jet assisting the laser etching of polycrystalline silicon

待确认

文献求助详情

标题	Effects of a low-pressure water jet assisting the laser etching of polycrystalline silicon 低压水射流辅助激光刻蚀多晶硅的效果相关领域多晶硅蚀刻（微加工）材料科学微晶硅喷射（流体）水射流激光器光电子学复合材料光学冶金工程类机械工程机械物理喷嘴薄膜晶体管图层（电子）
网址	https://doi.org/10.1007/s00339-018-1987-5
DOI	10.1007/s00339-018-1987-5 doi
其它	期刊：Applied Physics A 作者：Xuehui Chen; Xiang Li; Wei Song; Chao Wu; Yao Zhang 出版日期：2018
求助人	han 在 2025-06-18 11:04:53 发布自中国，悬赏 10 积分
下载
	温馨提示：该文献已被科研通学术中心收录，前往查看科研通『学术中心』是文献索引库，收集文献的基本信息（如标题、摘要、期刊、作者、被引量等），不提供下载功能。如需下载文献全文，请通过文献求助获取。

上个求助

下个求助

求助 / 应助时间线

请等待求助人确认

已经有人上传了文献，该状态下其他人无法上传，请等待求助人确认该文件是否是他需要的。
如果求助人在 48 小时内还未确认，系统默认应助成功，本求助将自动关闭。
3小时前

ED Lv10 上传了文件

待审核 Effects of a low-pressure water jet assisting the laser etching of polycrystalline silicon.pdf (3.56 MB)

温馨提示：本文件中的下载单位、IP等隐私信息已被删除。如有遗漏，请提交工单反馈。
7小时前

科研通AI2.0 机器人未找到该文献，机器人已退出，请等待人工下载

11:04:57 未找到该文献，机器人已退出，请等待人工下载

11:04:54 科研通AI机器人（新加坡）收到请求，开始寻找文献

11:04:53 已向机器人发送请求
7小时前

han Lv11 求助人发起了本次求助

我的文献求助列表浏览历史

一分钟了解求助规则 | 捐赠本站 | 历史今天

更新

PDF的下载单位、IP信息已删除 (2025-6-4)

科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。

实时播报: 八月宁静发布了新的文献求助10

1秒前; sumeiling完成签到，获得积分10

1秒前; coolkid的应助被雨衣采纳，获得10

3秒前; Wo了喝完成签到，获得积分10

3秒前; 猪猪hero发布了新的文献求助30

3秒前; 大个上传了应助文件

4秒前; coolkid上传了应助文件

6秒前; Rosalind完成签到，获得积分10

6秒前; SciGPT的应助被子夜yyy采纳，获得10

6秒前; zz发布了新的文献求助10

9秒前; ticky发布了新的文献求助10

9秒前; 善学以致用的应助被快乐科研采纳，获得10

9秒前; 粗心的寒荷关注了科研通微信公众号

10秒前; 英姑的应助被奶油泡芙采纳，获得10

12秒前; 核桃的应助被zwenng采纳，获得10

12秒前; 完美世界的应助被Rita采纳，获得10

14秒前; qly上传了应助文件

15秒前; Mike完成签到，获得积分10

15秒前; wanci上传了应助文件

17秒前; fletmer完成签到，获得积分20

17秒前; 小马甲的应助被月月略略略采纳，获得10

18秒前; 眯眯眼的衬衫的应助被雪山飞龙采纳，获得10

18秒前; NexusExplorer的应助被ticky采纳，获得10

18秒前; 绵羊座鸭梨完成签到，获得积分10

18秒前; 稳重惜灵发布了新的文献求助10

20秒前; 英姑上传了应助文件

20秒前; fletmer发布了新的文献求助10

20秒前; 传奇3的应助被breeze采纳，获得10

21秒前; SYLH上传了应助文件

22秒前; 听风者发布了新的文献求助10

23秒前; winni的应助被yyy采纳，获得30

24秒前; 奶油泡芙发布了新的文献求助10

25秒前; 赵雪萌完成签到，获得积分10

27秒前; 能干的月光上传了应助文件

28秒前; coolkid上传了应助文件

29秒前; nana完成签到，获得积分10

30秒前; 小代完成签到，获得积分10

30秒前; 奶油泡芙完成签到，获得积分10

34秒前; 粗心的寒荷发布了新的文献求助10

35秒前; janejane发布了新的文献求助10

36秒前