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 Tribological Design Optimization of Probe Card Tip for Enhanced Chip Manufacturing Productivity 提高芯片制造生产率的探针卡尖端摩擦学设计优化
相关领域
材料科学
接触电阻
摩擦学
半导体器件制造
抛光
涂层
半导体
接触面积
工艺优化
机械工程
复合材料
纳米技术
光电子学
工程类
图层（电子）
环境工程
薄脆饼
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| 其它 |
期刊：International Journal of Precision Engineering and Manufacturing 作者：Tae-Hyeong Kim; Jae‐Hyuk Jang; Hae‐Jin Kim; Dae‐Eun Kim 出版日期：2025-01-13 |
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