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Lead-free dielectric thin films: Synthesis of Ag(Nb1−xTax)O3 via reactive dc magnetron sputtering 无铅电介质薄膜:反应直流磁控溅射合成Ag(Nb1-xTax)O3
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期刊:Journal of Vacuum Science & Technology A Vacuum Surfaces and Films 作者:L. Kölbl; M. Mehrabi; Thomas Grießer; Frans Munnik; Christian Mitterer 出版日期:2024-12-06 |
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