Mitigation of plasma-induced damage in porous low-k dielectrics by cryogenic precursor condensation

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标题	Mitigation of plasma-induced damage in porous low-k dielectrics by cryogenic precursor condensation
网址	http://stacks.iop.org/0022-3727/49/i=17/a=175203/pdf
DOI	10.1088/0022-3727/49/17/175203 doi
其它	期刊：Journal of Physics D: Applied Physics 作者：Li-Ping Zhang; J. de Marneffe; F. Leroy; P. Lefaucheux; T. Tillocher; et al 出版日期：2016-04-01
求助人	cyyan 在 2026-09-29 20:21:53 发布自上海，悬赏 10 积分
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