Realization of ultrashallow junctions by plasma immersion ion implantation and laser annealing

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标题	Realization of ultrashallow junctions by plasma immersion ion implantation and laser annealing
网址	https://pubs.aip.org/avs/jvb/article-pdf/26/1/286/15871802/2...
DOI	10.1116/1.2834555 doi
其它	期刊：Journal of Vacuum Science & Technology B 作者：V. Vervisch; H. Etienne; F. Torregrosa; L. Roux; L. Ottaviani; et al 出版日期：2008-01-31
求助人	kudward 在 2026-10-11 20:49:04 发布，悬赏 10 积分
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