Process optimization of VUV photo-assisted low-temperature dielectric film growth

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标题	Process optimization of VUV photo-assisted low-temperature dielectric film growth
网址	http://dx.doi.org/10.1117/12.3112845
DOI	10.1117/12.3112845 doi
其它	期刊：Low-Dimensional Materials and Devices 2026 作者：Jingyang Kong; Jinhong Kim; Dane J. Sievers; Sung-Jin Park; J. Gary Eden 出版日期：2026-10-09
求助人	NX 在 2026-10-10 16:13:36 发布自中国，悬赏 20 积分
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