Effect of ALD reactants on blistering of aluminum oxide films on crystalline silicon

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标题	Effect of ALD reactants on blistering of aluminum oxide films on crystalline silicon
网址	http://xplorestaging.ieee.org/ielx7/6731006/6744078/06744371...
DOI	10.1109/pvsc.2013.6744371 doi
其它	期刊：2013 IEEE 39th Photovoltaic Specialists Conference (PVSC) 作者：Shuo Li; Paivikki Repo; Guillaume von Gastrow; Yameng Bao; Hele Savin 出版日期：2014-02-22
求助人	vivi 在 2026-11-01 22:20:50 发布自山东，悬赏 10 积分
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