A bionic approach for the mechanical and electrical decoupling of an MEMS capacitive sensor in ultralow force measurement

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标题	A bionic approach for the mechanical and electrical decoupling of an MEMS capacitive sensor in ultralow force measurement
网址	https://doi.org/10.1007/s11465-023-0747-1
DOI	10.1007/s11465-023-0747-1 doi
其它	期刊：Frontiers of Mechanical Engineering 作者：Wendi Gao; Bian Tian; Cunlang Liu; Yingbiao Mi; Jia Chen; et al 出版日期：2023-06-01
求助人	cloud 在 2026-09-28 13:52:42 发布自北京，悬赏 10 积分
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