| 标题 |
[高分]
 Rigorous calibration and validation of high sigma defect prediction models |
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| DOI |
10.1117/12.3072615
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| 其它 |
期刊：Photomask Technology 作者：Parag Ghosh; Ulrich Welling; A. Dawes; Wolfgang Hoppe; Zachary Levinson; et al 出版日期：2025-11-06 |
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