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Study of anisotropic etching of (1 0 0) Si with ultrasonic agitation |
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期刊:Sensors and Actuators A: Physical 作者:Jing Chen; Litian Liu; Zhijian Li; Zhimin Tan; Qianshao Jiang; et al 出版日期:2002-10-15 |
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(2025-6-4)