Thermal Atomic Layer Etching of Al2O3 Using Sequential HF and BCl3 Exposures: Evidence for Combined Ligand-Exchange and Conversion Mechanisms - 科研通

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标题	Thermal Atomic Layer Etching of Al2O3 Using Sequential HF and BCl3 Exposures: Evidence for Combined Ligand-Exchange and Conversion Mechanisms
网址	https://doi.org/10.1021/acs.chemmater.2c01120
DOI	10.1021/acs.chemmater.2c01120 doi
其它	期刊：Chemistry of Materials 作者：Austin M. Cano; Jonathan L. Partridge; Steven M. George 出版日期：2022-07-11
求助人	Br 在 2026-11-02 15:27:47 发布自浙江，悬赏 10 积分
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