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  Monolithic low-birefringence silicon nitride platform for polarization-insensitive photonic integrated circuits 相关领域
材料科学
光子集成电路
集成电路
光电子学
集成光学
氮化硅
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硅光子学
电子束光刻
化学气相沉积
混合硅激光器
折射率
氮化物
波导管
基质（水族馆）
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| DOI |
10.1364/oe.586171
doi
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| 其它 |
期刊：Optics Express 作者：Zhengyu Guo; Liu Li; Haoran Wang; H T Deng; Yan Fan; et al 出版日期：2026-03-10 |
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