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Analysis of Basal Plane Bending and Basal Plane Dislocations in 4H-SiC Single Crystals
相关领域
基面 热弹性阻尼 材料科学 弯曲 位错 蚀刻(微加工) 结晶学 平面(几何) 凝聚态物理 复合材料 几何学 化学 物理 热的 热力学 数学 图层(电子)
网址
DOI
10.1143/jjap.48.065503 doi
其它 期刊:Japanese Journal of Applied Physics
作者:Noboru Ohtani; Masakazu Katsuno; Tatsuo Fujimoto; Masashi Nakabayashi; Hiroshi Tsuge; et al
出版日期:2009-06-22
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