Development of standard samples with programmed defects for evaluation of pattern inspection tools

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标题	Development of standard samples with programmed defects for evaluation of pattern inspection tools 相关领域薄脆饼材料科学平版印刷术光电子学基质（水族馆）蚀刻（微加工）扫描电子显微镜制作临界尺寸光学纳米技术复合材料图层（电子）病理地质学替代医学物理海洋学医学
网址	http://dx.doi.org/10.1117/12.2514897
DOI	10.1117/12.2514897 doi
求助人	zhull 在 2025-11-28 13:47:20 发布自北京，悬赏 20 积分
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