发布文献求助
求助中
  • 文献求助详情
标题
Isotropic plasma-thermal atomic layer etching of aluminum nitride using SF6 plasma and Al(CH3)3
SF6等离子体和Al（CH3）3各向同性等离子体-热原子层刻蚀氮化铝
相关领域
材料科学 等离子体 蚀刻（微加工） 氮化物 表面粗糙度 各向同性 干法蚀刻 等离子体刻蚀 图层（电子） 分析化学（期刊） 热氧化 铝 反应离子刻蚀 各向同性腐蚀 表面光洁度 复合材料 光学 化学 色谱法 量子力学 物理
网址
https://doi.org/10.1116/6.0002476
DOI
10.1116/6.0002476 doi
其它 期刊：Journal of Vacuum Science & Technology A Vacuum Surfaces and Films
作者：Haozhe Wang; Azmain A. Hossain; David S. Catherall; Austin J. Minnich
出版日期：2023-05-01
求助人
Miao 在 2025-12-05 16:02:36 发布自甘肃，悬赏 10 积分
下载 暂无链接，等待应助者上传
 
温馨提示：该文献已被科研通 学术中心 收录，前往查看
科研通『学术中心』是文献索引库，收集文献的基本信息（如标题、摘要、期刊、作者、被引量等），不提供下载功能。如需下载文献全文，请通过文献求助获取。
上个求助
下个求助
提交工单
相关文献
  1. Low-temperature dry etching
  2. Advanced Etching Techniques of LiNbO3 Nanodevices
  3. Chromium oxide as a hard mask material better than metallic chromium
  4. Plasma chemical etching of silicon in mems - technology
  5. Dry etching for pattern transfer
  6. Investigations of dry etching in AlGaInP/GaInP using CCl2F2/Ar reactive ion etching and Ar ion beam ...
  7. Superfine IC geometries: Gas-plasma etching may supplant chemical etching in manufacturing high-perf...
  8. MICROFABRICATION TECHNIQUE BY GAS PLASMA ETCHING METHOD
  9. Electron cyclotron resonance-reactive CH/sub 4//H/sub 2//Ar with constant Ar flow for high etch rate...
  10. Introduction
　...点击展开更多...　
求助 / 应助时间线

  • 现在，等待您上传文献

  • 1小时前

    科研通AI2.0 科研通AI2.0 机器人 未找到该文献，机器人已退出，请等待人工下载

    16:02:41 未找到该文献，机器人已退出，请等待人工下载
    16:02:37 科研通AI机器人（澳大利亚 悉尼）收到请求，开始寻找文献
    16:02:36 已向机器人发送请求

  • 1小时前

    Miao Miao Lv1 求助人 发起了本次求助

更新
PDF的下载单位、IP信息已删除 (2025-6-4)
科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。 对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。
实时播报
华仔的应助被成都虎哥采纳，获得10
1秒前
2秒前
2秒前
guozizi发布了新的文献求助10
2秒前
zzjjhh完成签到，获得积分10
3秒前
猴猴完成签到，获得积分10
3秒前
4秒前
Maestro_S发布了新的文献求助10
4秒前
底层特律的应助被Echopotter采纳，获得30
5秒前
5秒前
5秒前
洋葱头完成签到，获得积分10
6秒前
量子星尘发布了新的文献求助10
6秒前
超级裁缝发布了新的文献求助10
8秒前
9秒前
haojiangWu完成签到，获得积分10
10秒前
sun完成签到，获得积分10
10秒前
y2ktwo发布了新的文献求助10
11秒前
LLL完成签到，获得积分10
11秒前
11秒前
赘婿的应助被T拐拐采纳，获得10
12秒前
moon完成签到，获得积分10
13秒前
嘀嗒发布了新的文献求助10
14秒前
16秒前
16秒前
guozizi发布了新的文献求助10
16秒前
科研通AI6的应助被绵杨采纳，获得10
17秒前
17秒前
量子星尘发布了新的文献求助10
18秒前
wanzhitao发布了新的文献求助10
18秒前
科研通AI6的应助被开心的西瓜采纳，获得10
18秒前
超级裁缝完成签到，获得积分10
19秒前
科研通AI6的应助被lcx采纳，获得10
19秒前
归尘发布了新的文献求助10
19秒前
秦风完成签到，获得积分10
21秒前
陈末的应助被慕昊强采纳，获得10
21秒前
等待的丹秋完成签到，获得积分10
21秒前
T拐拐发布了新的文献求助10
22秒前
22秒前
BJ_whc发布了新的文献求助80
22秒前
高分求助中
(应助此贴封号)【重要！！请各用户(尤其是新用户)详细阅读】【科研通的精品贴汇总】 10000
The Social Work Ethics Casebook: Cases and Commentary (revised 2nd ed.).. Frederic G. Reamer 1070
2025-2031年中国兽用抗生素行业发展深度调研与未来趋势报告 1000
List of 1,091 Public Pension Profiles by Region 851
The International Law of the Sea (fourth edition) 800
A Guide to Genetic Counseling, 3rd Edition 500
Synthesis and properties of compounds of the type A (III) B2 (VI) X4 (VI), A (III) B4 (V) X7 (VI), and A3 (III) B4 (V) X9 (VI) 500
热门求助领域 （近24小时）
化学 材料科学 医学 生物 工程类 有机化学 生物化学 物理 纳米技术 计算机科学 内科学 化学工程 复合材料 物理化学 基因 遗传学 催化作用 冶金 量子力学 光电子学
热门帖子
关注 科研通微信公众号，转发送积分 5416856
求助须知：如何正确求助？哪些是违规求助？ 4532976
关于积分的说明 14137292
捐赠科研通 4448956
什么是DOI，文献DOI怎么找？ 2440505
邀请新用户注册赠送积分活动 1432315
关于科研通互助平台的介绍 1409793
Copyright © 2020-2025 AbleSci.COM, 科研通, All Right Reserved
科研通是非营利科研互助平台，不忘初心，为科研助力
本站互助的所有文件仅供个人学习研究用，禁止任何人把求助的所得文献进行盈利或传播
版权声明 关于本站 捐赠本站 提交工单 客服中心
皖ICP备2024041134号-1 皖公网安备34019202002308
科研通【文献互助QQ群】：如果您有特殊求助，或发布求助超过24小时未得到应助，可加群求助，群号：941272744【点击一键加群】
科研通【志愿服务QQ群】：如果您热爱文献互助，有热心愿意为更多人服务，请加入小伙伴群，点击申请加入
关注微信服务号
科研通