Temperature control system based on Active Disturbance Rejection Control and its parameter optimization in large-sized monolithic silicon epitaxy equipment reactor

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标题	Temperature control system based on Active Disturbance Rejection Control and its parameter optimization in large-sized monolithic silicon epitaxy equipment reactor 大尺寸单片硅外延设备反应器中基于自抗扰控制的温度控制系统及其参数优化相关领域外延硅控制（管理）控制理论（社会学）扰动（地质）材料科学光电子学温度控制计算机科学工程类控制工程生物纳米技术古生物学人工智能图层（电子）
网址	https://doi.org/10.1016/j.jprocont.2025.103430
DOI	10.1016/j.jprocont.2025.103430 doi
其它	期刊：Journal of Process Control 作者：J. Suo; Bo Jin; Lingfeng Zhu; Wenjie Shen 出版日期：2025-04-10
求助人	mniat 在 2025-12-06 16:26:52 发布自辽宁，悬赏 10 积分
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