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Stealth dicing of sapphire sheets with low surface roughness, zero kerf width, debris/crack-free and zero taper using a femtosecond Bessel beam 相关领域
贝塞尔光束
材料科学
光学
轴棱锥
表面粗糙度
蓝宝石
激光加工
飞秒
机械加工
表面光洁度
梁(结构)
晶片切割
激光器
贝塞尔函数
复合材料
激光束
物理
图层(电子)
冶金
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