Process improvement of high aspect ratio nano-gratings based on synchrotron x-ray - 科研通

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标题	Process improvement of high aspect ratio nano-gratings based on synchrotron x-ray 相关领域材料科学光学栅栏纵横比（航空）纳米- 同步辐射光刻胶表面光洁度光电子学纳米技术复合材料图层（电子）物理
网址	https://doi.org/10.1088/1361-6528/ac667c
DOI	10.1088/1361-6528/ac667c doi
其它	期刊：Nanotechnology 作者：Ruoxin Fan; Baozhi Wang; Yigui Li; Liyan Lai 出版日期：2022-04-12
求助人	Doctor 在 2026-01-05 08:14:33 发布自海南，悬赏 10 积分
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