Process optimization of 4H-SiC chemical mechanical polishing based on grey relational analysis

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标题	Process optimization of 4H-SiC chemical mechanical polishing based on grey relational analysis
网址	https://doi.org/10.1088/1361-6641/acd9e5
DOI	10.1088/1361-6641/acd9e5 doi
其它	期刊：Semiconductor Science and Technology 作者：Xinxing Ban; Tianxu Duan; Zhuangzhi Tian; Yunhe Li; Jianhui Zhu; et al 出版日期：2023
求助人	清脆易形在 2026-02-27 02:25:59 发布自福建，悬赏 10 积分
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