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 Model-based OPC using the MEEF matrix 使用MEEF矩阵的基于模型的OPC
相关领域
GSM演进的增强数据速率
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计算机科学
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期刊：Proceedings of SPIE, the International Society for Optical Engineering/Proceedings of SPIE 作者：Nicolas B. Cobb; Yuri Granik 出版日期：2002-12-24 |
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