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 Synthesis of nanopowders in a PECVD reactor from organosilicon precursor 有机硅前驱体在PECVD反应器中合成纳米粉体
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六甲基二硅氧烷
等离子体增强化学气相沉积
材料科学
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期刊：Phosphorus, sulfur, and silicon and the related elements 作者：Youcef Fermi; M. Kihel; Salah Sahli; Patrice Raynaud 出版日期：2019-06-22 |
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