Synthesis of nanopowders in a PECVD reactor from organosilicon precursor

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作者
Youcef Fermi,M. Kihel,Salah Sahli,Patrice Raynaud
出处
期刊:Phosphorus Sulfur and Silicon and The Related Elements [Informa]
卷期号:194 (10): 978-982 被引量:9
标识
DOI:10.1080/10426507.2019.1631311
摘要

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