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 Effect of HCl catalyst in the formation of flat structures of Ta2O5 thin films by sol-gel technique HCl催化剂对溶胶-凝胶法制备Ta2O5薄膜平面结构的影响
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期刊：Journal of vacuum science & technology 作者：C. Cantalini; Mario Pelino; R. A. Phani; M. Passacantando; P. Picozzi; et al 出版日期：2000-07-01 |
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