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Development of Low Temperature Direct Bond Interconnect Technology for Die-To-Wafer and Die-To-Die Applications-Stacking, Yield Improvement, Reliability Assessment 用于管芯到晶圆和管芯到管芯应用的低温直接键合互连技术的开发-堆叠、成品率提高、可靠性评估
相关领域
材料科学
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期刊:2018 International Wafer Level Packaging Conference (IWLPC) 作者:Guilian Gao; Laura Mirkarimi; Thomas Workman; Gabe Guevara; Jeremy Theil; et al 出版日期:2018-12-14 |
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