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Fabrication of low interface dipole layer on Al2O3/SiO2/Si structure by densification of interfacial layer
界面层致密化制备Al2O3/SiO2/Si结构低界面偶极层
相关领域
材料科学 图层(电子) 偶极子 制作 复合材料 原子层沉积 亚氧化物 电流密度 氧化物 化学 冶金 病理 有机化学 物理 替代医学 医学 量子力学
网址
DOI
10.1016/j.jallcom.2021.163018 doi
其它 期刊:Journal of Alloys and Compounds
作者:Ryun Na Kim; Hye Won Yun; Jinho Lee; Seong‐Ho Baek; Woo‐Byoung Kim
出版日期:2021-11-30
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