发布文献求助
已完结
  • 文献求助详情
标题
Material-Mechanistic Interplay in SiCN Wafer Bonding for 3D Integration
相关领域
薄脆饼 材料科学 晶片键合 纳米技术 工程物理 工程类
网址
https://doi.org/10.1021/acsomega.5c03628
DOI
10.1021/acsomega.5c03628 doi
其它 期刊：ACS omega
作者：Hayato Kitagawa; Ryosuke Sato; Sodai Ebiko; Atsushi Nagata; Chiwoo Ahn; et al
出版日期：2025-06-23
求助人
danli 在 2025-10-28 12:22:43 发布自海南，悬赏 10 积分
下载 求助已完成，仅限求助人下载。
 
温馨提示：该文献已被科研通 学术中心 收录，前往查看
科研通『学术中心』是文献索引库，收集文献的基本信息（如标题、摘要、期刊、作者、被引量等），不提供下载功能。如需下载文献全文，请通过文献求助获取。
上个求助
下个求助
提交工单
相关文献
  1. Low temperature direct wafer to wafer bonding for 3D integration: Direct bonding, surface preparatio...
  2. A new approach for handling and transferring of thin semiconductor materials
  3. Detection of Local Cu-to-Cu Bonding Defects in Wafer-to-Wafer Hybrid Bonding Using GHz-SAM
  4. Preparation of Germanium-on-insulator (GOI) wafers by means of layer transfer tehnique
  5. A 3-D wafer level hermetical packaging for MEMS
  6. All-Rounder Hybrid Bond-Cluster for Wafer to Wafer and CO/SEQ Die to Wafer, Room Temperature Assembl...
  7. Integration of distributed Ge islands onto Si wafers by adhesive wafer bonding and low-temperature G...
  8. Low Temperature Wafer Bonding On SiliconNitride
  9. A Low Temperature, Wafer Level Transfer Integration Technology
  10. The Behavior of Intrinsic Bubbles in Silicon Wafer Direct Bonding
　...点击展开更多...　
该求助已完结，感谢关注
如需该文献，请重新发布求助，前往发布
科研通，破除各种障碍，优化资源分配，让科研信息充分流通
请遵守相关知识产权规定，勿将文件分享给他人，仅可用于个人研究学习
更新
PDF的下载单位、IP信息已删除 (2025-6-4)
科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。 对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。
实时播报
栗子完成签到 ，获得积分10
刚刚
lijf2024发布了新的文献求助10
1秒前
科研通AI6的应助被许小六采纳，获得10
1秒前
Hysen_L发布了新的文献求助10
2秒前
2秒前
2秒前
3秒前
4秒前
慕青的应助被小鱼儿采纳，获得10
4秒前
Hello的应助被朝夕采纳，获得10
4秒前
5秒前
早起晚睡完成签到 ，获得积分10
7秒前
7秒前
Cheyann发布了新的文献求助30
7秒前
贵哥完成签到，获得积分10
7秒前
所所的应助被哭泣黄蜂采纳，获得10
8秒前
Go发布了新的文献求助10
8秒前
8秒前
8秒前
9秒前
芥子完成签到，获得积分10
10秒前
Gonboo完成签到，获得积分10
10秒前
隐形曼青的应助被典雅的俊驰采纳，获得10
11秒前
若ruofeng的应助被ankey采纳，获得10
12秒前
阿荣Oi发布了新的文献求助10
12秒前
杨漂亮完成签到，获得积分10
13秒前
情怀的应助被AquaR采纳，获得10
13秒前
迷人雪一完成签到，获得积分10
14秒前
科研通AI2S的应助被年把月拥有采纳，获得10
14秒前
14秒前
15秒前
15秒前
852的应助被杨e采纳，获得10
17秒前
18秒前
18秒前
18秒前
花花完成签到 ，获得积分10
18秒前
qc完成签到，获得积分10
20秒前
20秒前
唐泽雪穗的应助被芥子采纳，获得10
20秒前
高分求助中
(应助此贴封号)【重要！！请各用户(尤其是新用户)详细阅读】【科研通的精品贴汇总】 10000
Feigin and Cherry's Textbook of Pediatric Infectious Diseases Ninth Edition 2024 4000
Einführung in die Rechtsphilosophie und Rechtstheorie der Gegenwart 1500
Cowries - A Guide to the Gastropod Family Cypraeidae 1200
青少年心理适应性量表(APAS)使用手册 700
Air Transportation A Global Management Perspective 9th Edition 700
Socialization In The Context Of The Family: Parent-Child Interaction 600
热门求助领域 （近24小时）
化学 医学 生物 材料科学 工程类 有机化学 内科学 生物化学 物理 计算机科学 纳米技术 遗传学 基因 复合材料 化学工程 物理化学 病理 催化作用 免疫学 量子力学
热门帖子
关注 科研通微信公众号，转发送积分 5005534
求助须知：如何正确求助？哪些是违规求助？ 4249119
关于积分的说明 13239987
捐赠科研通 4048734
什么是DOI，文献DOI怎么找？ 2215036
邀请新用户注册赠送积分活动 1224973
关于科研通互助平台的介绍 1145351
Copyright © 2020-2025 AbleSci.COM, 科研通, All Right Reserved
科研通是非营利科研互助平台，不忘初心，为科研助力
本站互助的所有文件仅供个人学习研究用，禁止任何人把求助的所得文献进行盈利或传播
版权声明 关于本站 捐赠本站 提交工单 客服中心
皖ICP备2024041134号-1 皖公网安备34019202002308
科研通【文献互助QQ群】：如果您有特殊求助，或发布求助超过24小时未得到应助，可加群求助，群号：941272744【点击一键加群】
科研通【志愿服务QQ群】：如果您热爱文献互助，有热心愿意为更多人服务，请加入小伙伴群，点击申请加入
关注微信服务号
科研通